中工网首页时政评论国际军事社会财经企业工会维权就业论坛博客理论人物网视图画体育汽车文化书画教育读书娱乐旅游绿色城建社区打工

中工图画

新闻

中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备

2018-11-30 08:45:11  来源: 中新网

  11月29日,由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目在成都通过验收,作为项目重要成果之一,中国科学家研制成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备,并形成一条全新的纳米光学光刻工艺路线,具有完全自主知识产权。据介绍,中科院光电所超分辨光刻装备项目组经过近7年艰苦攻关,突破了多项关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采用365纳米波长光源,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。图为中科院光电所超分辨光刻装备项目副总设计师杨勇(左)介绍装备整机。中新社记者 孙自法 摄

编辑:陈鹏

热点推荐

关于我们 | 广告服务 | 联系我们 | 本站地图 | 投稿邮箱 | 版权声明 | 违法和不良信息举报电话:010-84151598 | 网络敲诈和有偿删帖举报电话:010-84151598
Copyright © 2008-2018 by www.workercn.cn. all rights reserved
扫码关注



工人日报
客户端
苹果版
安卓版